LED-Belichtungssystem für Photolithographie


6929939 SIMAP - 23.07.2020
Grund: Öffentliches Beschaffungswesen (Berichtigung - Quelle: SIMAP)
- Verfahrensart:  Offenes Verfahren

1. Auftraggeber
1.1 Offizieller Name und Adresse des Auftraggebers
Bedarfsstelle/Vergabestelle
ETH Zürich
Beschaffungsstelle/Organisator
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich
FIRST Center for Micro-and Nano Science
Yargo Bonetti
Vladimir-Prelog-Weg 1
8093 Zürich
Schweiz
Telefon:
Fax:
E-Mail: bonetti@first.ethz.ch
URL: http://first.ethz.ch
1.2 In der ursprünglichen Bekanntmachung zu berichtigende Adresse
Keine Änderung
1.3 Art des Auftraggebers
Bund (Dezentrale Bundesverwaltung - öffentlich rechtliche Organisationen)
1.4 Verfahrensart
Offenes Verfahren

2. Beschreibung
2.1 Projekttitel der Beschaffung
LED-Belichtungssystem für Photolithographie
2.2 Detaillierter Aufgabenbeschrieb
Anlage zur Belichtung von Photolackschichten auf Halbleiter- und anderen Substraten mit Licht von LED verschiedener Wellenlängen und Strukturbestimmung durch Glas- und Folienmasken mit Auflösung im Mikrometerbereich.
2.4 Gemeinschaftsvokabular
CPV: 38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

3. Referenz
3.1 Referenznummer der Bekanntmachung
Publikation vom: 20.06.2020
im Publikationsorgan: Simap
3.2 Diese Bekanntmachung bezieht sich auf
Sonstige Information

4. Folgende Stellen sind in der ursprünglichen Meldung zu berichtigen

Ganze Publikation anzeigen

Alle Daten und Verweise sind ohne Gewähr und haben keinerlei Rechtswirkung. Dies ist keine amtliche Veröffentlichung. Massgebend sind die vom seco mit einer elektronischen Signatur versehenen SHAB-Daten.